大多數測試標準關於高效過濾器泄漏率的接受標準是，可接受的泄漏限度最（zuì）終由客戶和供應商共同確（què）定。但是，對於使用（yòng）HEPA過濾（lǜ）器或不（bú）同（tóng）級（jí）別（bié）潔淨區的許多應用，大多數采用≤0.01％的（de）掃描測試泄漏標準。盡管（guǎn）0.01％的泄漏率在曆史上已經使用（yòng）過（guò），並且其起源與（yǔ）早期的模擬光度計測試設備相關（guān）聯，但在沒有（yǒu）進行科學和（hé）基於風險的評估的情（qíng）況下，將0.01％的泄漏率標準作為可接受標準將導（dǎo）致與泄漏測試（shì）有關的問題（tí），並且如果在低風（fēng）險（xiǎn）區域（yù）發現超限或失敗情況，將可能會（huì）帶來巨大的運營成本。過濾器（qì）不是（shì）100％截留的，並且預計MPPS附近（jìn）的粒子在過濾器（qì）局部或整體（tǐ）可以穿透。當使用較低（dī）級別的HEPA過（guò）濾器時，工（gōng）廠進行的MPPS或MPPS附近粒子的可接受泄漏率標準可能等於或大於現場泄漏率測試的接受標（biāo）準，測試接受標準會（huì）變得更具爭議和（hé）困難（nán）。在可能發生泄漏的地方尤其如此（cǐ）。因此，在購買過濾器時，考慮過濾器的等級以及安裝後如何進行測試（shì）非常（cháng）重要，以避免不必要的現場測試失（shī）敗。

ISO 14644-3 [33]提（tí）供（gòng）了有關如何實施泄漏替代標準的指南。 在基（jī）於風險的方法中，理想的接受（shòu）標準是，該接受（shòu）標準可（kě）以（yǐ）反映所使用過濾器的效率或所測試房間的潔淨度。 ISO 14644-3使用工廠過濾效率等級作（zuò）為接受標準協商的基礎。光度計泄漏測試和基於粒子計數器的泄漏測試的泄漏接受標準應該（gāi）相同（tóng），因為兩（liǎng）種方法背後的理論和方法是相同的。如果執行得當，使用光度計和粒子計（jì）數器進行的泄漏（lòu）測試將得到（dào）相同的泄漏率結果（Meek等（děng），2011 [121]）。

如果（guǒ）檢測到的泄漏量超過上遊濃度的0.01％，一般認為該泄漏率超過最大允許標準。但是，對於整（zhěng）體效率MPPS≥99.95％且小（xiǎo）於99,995％的（de）過濾器係統（如H13過濾器），接受標準（zhǔn）為0.1％。

如果（guǒ）要測試 MPPS 整體效率低於（yú） 99.95% 的過濾係統，則根據客戶和供應商之間的協議，需要不一樣的接受標（biāo）準。